| LONAフィルター及び適合ハウジング |
|
|
型式 |
用途 |
サイズ外形×高さmm |
適合ハウジング |
密度 |
 |
L-301 |
CVD |
300×260 |
C-4000
C-5000 |
低密度 |
 |
L-31(V) |
エッチャー |
180×260 |
LH-3 |
低密度 |
| L-33(V) |
インプラ |
180×260 |
LH-3 |
高密度 |
 |
L-21(V) |
エッチャー |
180×130 |
LH-2 |
低密度 |
| L-23(V) |
インプラ |
180×130 |
LH-2 |
高密度 |
 |
L-21-160(V) |
エッチャー |
180×160 |
LH-2 |
低密度 |
 |
L-11(V) |
エッチャー |
110×400 |
LH-1 |
低密度 |
| L-13(V) |
インプラ |
110×400 |
LH-1 |
高密度 |
 |
L-01(V) |
エッチャー |
110×125 |
LH-0 |
低密度 |
| L-03(V) |
インプラ |
110×125 |
LH-0 |
高密度 |
 |
L-02(V) |
インプラ |
65×80 |
LH-001 |
高密度 |
|